[实用新型]一种用于涂胶显影机的真空源装置有效
| 申请号： | 202320126729.8 | 申请日： | 2023-01-18 |
| 公开（公告）号： | CN219320649U | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 张冬林;刘辉;杨科;王军 | 申请（专利权）人： | 上海百雅信息科技发展有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/16 |
| 代理公司： | 上海愉腾专利代理事务所(普通合伙) 31306 | 代理人： | 谢建春 |
| 地址： | 200441 上海市宝山*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于涂胶显影机的真空源装置，所述真空源装置包括安装座、气源三联件和真空发生器，所述真空发生器和气源三联件固定连接在所述安装座上，所述气源三联件上设有进气口和出气口，所述气源三联件的进气口连接压缩气源，所述真空发生器上设有气源接口、真空源接口，所述气源三联件的出气口通过通气管道与所述真空源接口连接。本实用新型提供的用于涂胶显影机的真空源装置，使用真空发生器替代小型设备中所需要的真空泵，在涂胶显影机上占用的装配空间小，体积小，工作时无油烟产生，绿色环保，非常适用于涂胶显影机抽真空使用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 涂胶 显影 真空 装置 | ||
【主权项】：
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