[实用新型]掩模组件有效
申请号: | 202320170359.8 | 申请日: | 2023-01-19 |
公开(公告)号: | CN219385296U | 公开(公告)日: | 2023-07-21 |
发明(设计)人: | 洪宰敏;罗成进;卢熙锡;李晟彻 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C16/04;H10K71/00 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 杨帆;田野 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供了一种掩模组件,所述掩模组件包括:框架,所述框架包括:长边部,在第一方向上延伸并且在与第一方向交叉的第二方向上彼此间隔开;以及短边部,连接到长边部,框架限定框架开口;第一杆部,在第二方向上延伸并且连接到框架;第一掩模片,限定第一沉积开口并且连接到第一杆部和框架,第一沉积开口在平面图中与所述框架开口叠置;以及第二掩模片,限定第二沉积开口并且连接到第一杆部和框架,第二沉积开口在平面图中与所述框架开口叠置。根据公开的掩模组件可以包括一种类型的杆部以减少沉积层的阴影缺陷现象。 | ||
搜索关键词: | 模组 | ||
【主权项】:
暂无信息
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