[实用新型]一种大板晶圆的检测设备有效
| 申请号： | 202320239745.8 | 申请日： | 2023-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN219533317U | 公开（公告）日： | 2023-08-15 |
| 发明（设计）人： | 朱晓伟 | 申请（专利权）人： | 江阴集成电路设计创新中心有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26;G01R1/04 |
| 代理公司： | 无锡市汇诚永信专利代理事务所(普通合伙) 32260 | 代理人： | 葛莉华 |
| 地址： | 214400 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种大板晶圆的检测设备；托板组件用于承载并固定大板晶圆且起到下压后复位功能；托板移动组件用于实现大板晶圆的X轴向移动；下压组件用于下压大板晶圆及成像；晶圆探针设置于下压组件正下方，用于连接晶圆PAD测试点实现测试功能；工作台用于设备的支撑及大板晶圆的轴向定位；托板组件通过托板定位滑块将其精准固定到托板移动组件上，托板移动组件通过托板定位滑块实现在滑轨做轴向移动，滑轨设置于所述晶圆探针上下两端；托板移动组件通过定位组件与工作台的定位孔定位大板晶圆的位置；下压组件固定于设备的中间端，当大板晶圆固定好相应位置后，通过下压组件的推拉杆使下压板压到大板晶圆上，并使大板晶圆底部PAD测试点与晶圆探针接触。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 大板晶圆 检测 设备 | ||
【主权项】：
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