[实用新型]版盒定位锁紧装置及光刻机有效
| 申请号： | 202320334865.6 | 申请日： | 2023-02-27 |
| 公开（公告）号： | CN219320651U | 公开（公告）日： | 2023-07-07 |
| 发明（设计）人： | 周千 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备（集团）股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思捷知识产权代理有限公司 31295 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种版盒定位锁紧装置及光刻机，所述版盒定位锁紧装置包括：支撑模块，包括至少两个相对设置的支撑座，相对设置的所述支撑座相互靠近的一侧具有用于放置版盒的凹槽，所述凹槽的侧壁设置有与所述凹槽连通的通孔；压紧模块，包括转轴、弹簧和滚动轴承，所述转轴的一端穿过所述通孔进入所述凹槽中，所述弹簧插入所述通孔且环绕设置于所述转轴的外围，所述滚动轴承与所述转轴的所述一端连接，以使得所述滚动轴承的外侧壁与所述版盒的侧面接触。本实用新型的技术方案能够减少版盒与支撑模块之间摩擦产生的颗粒，且能提高版盒的定位精度，进而提高掩模版在传输过程中的质量。 | ||
| 搜索关键词： | 定位 装置 光刻 | ||
【主权项】：
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