[实用新型]一种等离子水洗机养护装置有效
| 申请号： | 202320339605.8 | 申请日： | 2023-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN219465964U | 公开（公告）日： | 2023-08-04 |
| 发明（设计）人： | 胡大海;周育呈;谢海 | 申请（专利权）人： | 合肥钛米半导体有限公司 |
| 主分类号： | B25B11/00 | 分类号： | B25B11/00;F23G7/06;G01C15/00 |
| 代理公司： | 上海汇知丞企知识产权代理有限公司 31468 | 代理人： | 严九洲 |
| 地址： | 230012 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型属于半导体尾气处理技术领域，尤其为一种等离子水洗机养护装置，包括安装在火炬法兰盘底部的垫片，所述垫片的下方设有四个四分之一圆环形的固定座，每个所述固定座的表面均固定有转动架；用户在安装火炬时，将火炬的法兰盘放在垫片上，按动开关，用户观察辅助激光形成的十字线，可判断出安装是否准确，再次按动启动开关，使固定座吸附固定在反应室处，伸缩杆、套杆、弹簧将火炬支撑，用户向下按压火炬，弹簧产生收缩，火炬向安装处平移，避免火炬安装时碰撞到反应室边缘，便于用户安装，火炬放置正确无误后，拔下锁定杆，继续对夹台施加压力，使弹簧压缩，即可将夹台从垫片下抽出，操作简单方便，便于用户准确安装火炬。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 等离子 水洗 养护 装置 | ||
【主权项】：
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