[实用新型]一种位移测量装置有效
| 申请号： | 202320414761.6 | 申请日： | 2023-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN219454981U | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 钟少龙;张晋峰;凌晶芳;张鑫鑫 | 申请（专利权）人： | 上海拜安传感技术有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/02 | 分类号： | G01B11/02;G01D5/353 |
| 代理公司： | 上海双诚知识产权代理事务所(普通合伙) 31423 | 代理人： | 高利丹 |
| 地址： | 201201 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种位移测量装置，包括：固定壳体，固定壳体内部具有沿轴线延伸的中空结构，中空结构内顺次装配有滚珠衬套和弹簧套管，滚珠衬套和弹簧套管的内部共同穿设导向轴，导向轴用于传递被测量目标的位移量；限位模块，其设置在导向轴外周侧以限制导向轴的周向旋转运动；位移测量单元包括MEMS芯片和光路传输模块，其中，MEMS芯片设置在导向轴的靠近光路传输模块的端面上，所述的MEMS芯片用于接收和反射光源信号，MEMS芯片与光路传输模块之间存在间隙；若所述的被测量目标发生位移时，所述的限位模块限制导向轴沿着位移测量装置的轴线滑动，以改变所述的MEMS芯片与光路传输模块之间的间隙。所述测量装置运动平稳，测量精度高，抗干扰能力强。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 位移 测量 装置 | ||
【主权项】：
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