[实用新型]一种靶材测量装置有效
| 申请号： | 202320418364.6 | 申请日： | 2023-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN219265255U | 公开（公告）日： | 2023-06-27 |
| 发明（设计）人： | 徐浩;李杏兵;杨超;张闻斌;张忠卫 | 申请（专利权）人： | 江苏国晟世安新能源有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/30 | 分类号： | G01B11/30 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 何磊 |
| 地址： | 221137 江苏省徐州市贾*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种靶材的测量装置，包括测量机构和用于定位靶材的固定底座；测量机构包括固定杆；固定杆上活动连接有两根测量杆；测量杆具有磁性，可吸附在靶材上；测量杆的一端设有导向部；导向部可与固定底座配合用于对固定杆导向，使得测量杆沿靶材的轴向运动；两根测量杆中的其中一根上固定有用于测量两根测量杆之间距离的测距传感器。本实用新型采用两根活动测量杆配合测距传感器，能够快速测出靶材各处位置的损耗程度，能够高效测量整根靶材，不需要慢慢寻找靶材最薄处，同时设置了导向部，保证了两根测量杆与测量靶材截面置于同一平面，消除了测量误差，从而能够得到准确数据，为靶材利用率提升和防止过度溅射提供数据支持。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 测量 装置 | ||
【主权项】：
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