[实用新型]电池片返工机

摘要

本申请涉及一种电池片返工机，包括：运输件，用于运输电池片，运输方向为第一方向；光源，至少位于运输件沿第二方向的一侧，且用于朝电池片发出光线以完成曝光，第二方向与第一方向相垂直；喷淋模块，至少位于运输件沿第二方向的一侧，光源与喷淋模块沿第一方向依次排布，喷淋模块包括沿第一方向依次排布的三组喷淋组件，且沿第一方向依次排布的三组喷淋组件分别用于朝电池片喷淋能够去除镀铜层的碱溶液、能够去除铜种子层的第一酸溶液以及能够去除氧化膜层的第二酸溶液。上述电池片返工机可以专门用于对涂布、曝光与显影工艺中产生的不良片返工，无需占用正常生产时所使用的机台，因此不会影响正常生产，也不会因频繁进行液体更换而造成污染。