[实用新型]研磨液供应装置及研磨系统有效
| 申请号： | 202320497701.5 | 申请日： | 2023-03-15 |
| 公开（公告）号： | CN219426521U | 公开（公告）日： | 2023-07-28 |
| 发明（设计）人： | 胡天昶 | 申请（专利权）人： | 德久先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34;B24B37/00;B24B57/02 |
| 代理公司： | 上海远同律师事务所 31307 | 代理人： | 张坚 |
| 地址： | 中国台湾新北*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种研磨液供应装置、及研磨系统，其中该研磨液供应装置包括：研磨液供应源，其包含：粗研磨液供应源及细研磨液供应源；及研磨液供应阀，其包含：混合部；第一进料端，设置于该混合部的一端，与该粗研磨液供应源相连接；第二进料端，相对于该第一进料端设置于该混合部的一端，与该细研磨液供应源相连接；及流量控制件，设置于该混合部上。其中：由该研磨液供应装置所制备的研磨液可降低盘面的清洗难度，并减少清洗所需的时间成本，以降低制程工序的复杂度。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 供应 装置 系统 | ||
【主权项】：
暂无信息
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