[实用新型]真空镀膜机有效
| 申请号： | 202320546417.2 | 申请日： | 2023-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN219490138U | 公开（公告）日： | 2023-08-08 |
| 发明（设计）人： | 裴蓓;渡边优;余龙;吕启蒙;曹永军 | 申请（专利权）人： | 光驰科技（上海）有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 许利波 |
| 地址： | 200436 上海市宝山区*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜机，涉及真空镀膜技术领域。该真空镀膜机包括真空镀膜室、导轨和靶材移动小车，靶材移动小车上安装有靶材单元，靶材移动小车滑设于导轨，以使靶材单元能够进出真空镀膜室。靶材单元通过靶材移动小车运送至真空镀膜室内，为真空镀膜提供溅射靶材。在对靶材单元进行维护时，靶材移动小车将靶材单元移出真空镀膜室。靶材移动小车上还设置有安装机构，安装机构与靶材移动小车转动连接，靶材单元安装于安装机构，安装机构转动能带动靶材单元在安装位和维护位之间转换，以便在靶材单元需要维护时，将靶材单元旋转至维护位，将靶材单元中留存的冷却水倒出，提高了靶材单元的维护效率。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜 | ||
【主权项】：
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