[实用新型]导气结构、炉管装置及加热炉有效
| 申请号： | 202320864160.5 | 申请日： | 2023-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN219385402U | 公开（公告）日： | 2023-07-21 |
| 发明（设计）人： | 龙占勇;李东林;林佳继;周亮 | 申请（专利权）人： | 拉普拉斯（广州）半导体科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/16 | 分类号： | C30B31/16;C30B31/10;H01L31/18 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 潘登 |
| 地址： | 510535 *** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型属于法兰技术领域，公开了一种导气结构、炉管装置及加热炉，该导气结构包括导气连接部，该导气连接部开设进气结构和排气结构，该进气结构被配置成允许工艺气体输入，且该进气结构和排气结构位于该炉管本体的同一端，该排气结构被配置成允许该工艺气体离开该炉管本体的腔室。该导气结构能够同时实现双层炉管的进气工序和排气工序。 | ||
| 搜索关键词： | 结构 炉管 装置 加热炉 | ||
【主权项】：
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