[实用新型]一种膜层厚度测试用镀膜机有效
申请号: | 202320921035.3 | 申请日: | 2023-04-14 |
公开(公告)号: | CN219526767U | 公开(公告)日: | 2023-08-15 |
发明(设计)人: | 臧伟 | 申请(专利权)人: | 深圳市镭煜科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50;G01B21/08 |
代理公司: | 深圳市远航专利商标事务所(普通合伙) 44276 | 代理人: | 苏广洁 |
地址: | 518000 广东省深圳市光*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型涉及一种膜层厚度测试用镀膜机,包括密封舱体、密封门、支撑台和样品台,样品台通过升降调节组件设置在密封门的内侧壁上,并且样品台位于蒸发舟的上方;样品台和蒸发舟之间设有可水平移动调节的挡板,使得挡板或位于蒸发舟的正上方,或与蒸发舟左右错开。本实用新型的样品台通过升降调节组件,实现改变样品台与蒸发舟之间的相对距离,从而实现调节蒸镀距离;还能利用可调节的挡板,在蒸发舟输出稳定的金属粒子之前以及结束镀膜温度缓慢下降阶段,将挡板移动至蒸发舟的正上方进行遮挡,防止这两个时段蒸发出的少量粒子对膜层厚度进行影响;而在蒸发舟输出稳定后,将挡板移动开,使得蒸发舟稳定输出高密度且均匀的粒子对薄膜进行蒸镀。 | ||
搜索关键词: | 一种 厚度 测试 镀膜 | ||
【主权项】:
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