[实用新型]一种膜层厚度测试用镀膜机有效

专利信息
申请号: 202320921035.3 申请日: 2023-04-14
公开(公告)号: CN219526767U 公开(公告)日: 2023-08-15
发明(设计)人: 臧伟 申请(专利权)人: 深圳市镭煜科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/50;G01B21/08
代理公司: 深圳市远航专利商标事务所(普通合伙) 44276 代理人: 苏广洁
地址: 518000 广东省深圳市光*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 实用新型涉及一种膜层厚度测试用镀膜机,包括密封舱体、密封门、支撑台和样品台,样品台通过升降调节组件设置在密封门的内侧壁上,并且样品台位于蒸发舟的上方;样品台和蒸发舟之间设有可水平移动调节的挡板,使得挡板或位于蒸发舟的正上方,或与蒸发舟左右错开。本实用新型的样品台通过升降调节组件,实现改变样品台与蒸发舟之间的相对距离,从而实现调节蒸镀距离;还能利用可调节的挡板,在蒸发舟输出稳定的金属粒子之前以及结束镀膜温度缓慢下降阶段,将挡板移动至蒸发舟的正上方进行遮挡,防止这两个时段蒸发出的少量粒子对膜层厚度进行影响;而在蒸发舟输出稳定后,将挡板移动开,使得蒸发舟稳定输出高密度且均匀的粒子对薄膜进行蒸镀。
搜索关键词: 一种 厚度 测试 镀膜
【主权项】:
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