[实用新型]一种用于压电薄膜原位极化工艺的双栅极极化设备有效
| 申请号： | 202321044864.4 | 申请日： | 2023-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN219146074U | 公开（公告）日： | 2023-06-06 |
| 发明（设计）人： | 潘思怡;史航宇;邢天宇;陈昭如;胡潇然;钟乐黎;王硕;张祖祺 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | H10N30/045 | 分类号： | H10N30/045 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 邓黎 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于压电薄膜原位极化工艺的双栅极极化设备，属于压电材料极化技术领域。该极化设备包括支撑结构、金属旋转基板、待极化件、上源极、上栅极、下源极、下栅极。本实用新型在待极化件的上下两侧设置双栅极结构，能够产生更大的极化电场，使压电薄膜中的电畴更快完成取向排列，提升了极化速度，减少了极化处理的时间；上源极和下源极采用圆形实心金属板，上栅极和下栅极采用设置有均匀网格结构的金属圆盘，增加了放电位置的数量，提高了等离子体的产生效率，进一步减少了极化时间；此外，通过设置金属旋转基板，保证了压电薄膜极化的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 压电 薄膜 原位 极化 工艺 栅极 设备 | ||
【主权项】：
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