[其他]高分辨率深能级瞬态谱仪的设备方法与仪器无效
| 申请号： | 85100447 | 申请日： | 1985-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN85100447A | 公开（公告）日： | 1986-10-01 |
| 发明（设计）人： | 孙勤生 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | G01N27/00 | 分类号： | G01N27/00;G01R31/26;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 江苏省南京*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 属于半导体深能级谱的测量仪器，已有的谱仪测得的谱分辨率低。本发明提出了高分辨率组合率窗系列，设计了多种方案的高分辨率组合率窗讯号处理仪，以及用此处理仪而得到的高分辨率深能级瞬态(电容)谱仪等多种高分辨率深能级谱仪。本发明仪器所得实验谱线与已有相比，显著地提高了分辨率，本发明可形成一代新的深能级瞬态谱仪。 | ||
| 搜索关键词： | 高分辨率 能级 瞬态 设备 方法 仪器 | ||
【主权项】：
1、关于半导体深能级瞬态谱仪中瞬态讯号处理仪的设置方法，其特征是对瞬态讯号设置多点组合率窗系列SRW(m)，即对一个瞬态讯号设置多于两个不同时间的取样点，将这些所取讯号组合，所得的谱讯号是大大提高了分辨率的谱讯号。
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