[其他]普氮制取超纯氮净化装置及工艺流程无效

专利信息
申请号: 85102704 申请日: 1985-04-01
公开(公告)号: CN85102704A 公开(公告)日: 1986-09-24
发明(设计)人: 程德鑫;张俊香;唐学渊;陈怡萱;刘惠菁;邱长春;戴志豪;韩同生;朱风顺;王瑞升 申请(专利权)人: 中国科学院大连化学物理研究所
主分类号: C01B21/04 分类号: C01B21/04
代理公司: 中国科学院大连化学物理研究所专利代理处 代理人: 汪惠民
地址: 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要: 普氮制取超纯氮净化装置及工艺流程属气体净化技术。本发明运用了控制加氢法,其特征包括(1)脱氧反应柱后加入可除去氢气、氧气和单纯氢气的反应柱(2)设计了能连续取样分析氮气流中气体组分的氢/氧检测计和调节加氢的精密计量伐;(3)成品气出现大幅度波动时,各项技术指标不变;(4)适应能力强可在1~1000米3/时。本发明可广泛用于需要超纯氮气(氩气)的各种行业。
搜索关键词: 制取 超纯氮 净化 装置 工艺流程
【主权项】:
1、运用加H2法由普N2制取超纯N2的净化装置包括:脱O2反应柱、深度净化管、一对吸附柱;本发明的特征在于:脱O2反应柱与吸附柱间加入可同时进行脱H2、脱O2的反应柱(RO/R)和脱H2反应柱(RO)并设计了能连续取样分析N2流中气体组分的H2/O2检测计(HOM)和调节加H2量的精密计量伐(FMV)。
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