[其他]普氮制取超纯氮净化装置及工艺流程无效
申请号: | 85102704 | 申请日: | 1985-04-01 |
公开(公告)号: | CN85102704A | 公开(公告)日: | 1986-09-24 |
发明(设计)人: | 程德鑫;张俊香;唐学渊;陈怡萱;刘惠菁;邱长春;戴志豪;韩同生;朱风顺;王瑞升 | 申请(专利权)人: | 中国科学院大连化学物理研究所 |
主分类号: | C01B21/04 | 分类号: | C01B21/04 |
代理公司: | 中国科学院大连化学物理研究所专利代理处 | 代理人: | 汪惠民 |
地址: | 辽宁省*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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摘要: | 普氮制取超纯氮净化装置及工艺流程属气体净化技术。本发明运用了控制加氢法,其特征包括(1)脱氧反应柱后加入可除去氢气、氧气和单纯氢气的反应柱(2)设计了能连续取样分析氮气流中气体组分的氢/氧检测计和调节加氢的精密计量伐;(3)成品气出现大幅度波动时,各项技术指标不变;(4)适应能力强可在1~1000米3/时。本发明可广泛用于需要超纯氮气(氩气)的各种行业。 | ||
搜索关键词: | 制取 超纯氮 净化 装置 工艺流程 | ||
【主权项】:
1、运用加H2法由普N2制取超纯N2的净化装置包括:脱O2反应柱、深度净化管、一对吸附柱;本发明的特征在于:脱O2反应柱与吸附柱间加入可同时进行脱H2、脱O2的反应柱(RO/R)和脱H2反应柱(RO)并设计了能连续取样分析N2流中气体组分的H2/O2检测计(HOM)和调节加H2量的精密计量伐(FMV)。
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