[其他]一种小型流体传感器

摘要

本发明属于压力测量技术领域。此小型流体传感器的力敏元件是利用半导体压阻效应，采用集成电路工艺制成。为提高成品率，在(001)晶面上沿晶向集成八个力敏电阻，可构成四组电桥。该传感器采用了全密封结构，将密封的不锈钢膜片直接焊在端盖上，并采用螺帽压接结构，便于观察和清洗膜片。力敏元件的安装是采用两个“O”型密封圈将其固定在主体上，这样可消除外界干扰力的影响。

主权项

一种由半导体力敏元件和腔体所组成的小型流体传感器，它包括有：A、流体接口3，它是采用与不锈钢膜片5直径相近的压紧螺帽安装在端盖1上的；B、力敏元件是采用整体硅杯结构，将八个力敏电阻分布在(001)晶面上的晶向上；其特征在于：C、用杂质扩散在硅杯(001)晶面上的晶向上的八个力敏电阻，它们之中的四个力敏电阻(1)、(4)、(5)、(8)分布在0.8～0.98r之间，另外四个力敏电阻(2)、(3)、(6)、(7)分布在0.5～0.6r之间；D、组成惠斯登电桥力敏电阻(1)、(2)、(3)、(4)为一组，(3)、(4)、(5)、(6)为一组，(5)、(6)、(7)、(8)为一组，(7)、(8)、(1)、(2)为一组；E、将不锈钢膜片5直接压焊在腔体的端盖(1)上。