[其他]用于离子镀膜的冷U阴极装置无效

专利信息
申请号: 85103651 申请日: 1985-05-22
公开(公告)号: CN85103651A 公开(公告)日: 1987-04-15
发明(设计)人: 王殿儒;田大准 申请(专利权)人: 中华钛金研究所
主分类号: C23C14/28 分类号: C23C14/28
代理公司: 北京市专利事务所 代理人: 王敬智
地址: 北京市东皇*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种用于离子镀膜技术的冷U阴极装置,属于离子镀膜技术领域。传统的冷电弧阴极镀膜装置存在进气方式欠佳,阴极内衬和自加热衬套不好,电弧不能偏转等缺点。本发明的冷U阴极镀膜装置进气方式好,发射电流大,电弧可偏转、阴极内衬和自加热衬套性能好,可以镀金属件或塑料制品,镀膜质量高、色泽鲜艳、价格便宜。
搜索关键词: 用于 离子 镀膜 阴极 装置
【主权项】:
1、一种冷U阴极装置,其特征在于,采用底部进气,附有阴极内衬,装有反射衬套的冷空腔阴极,并具有长寿命、低气压、大电流,可偏转的电弧放电,致使坩埚阳极中的材料蒸发和离化,从而,可在负偏压作用下,在被镀工件表面上,形成多种具有优异特性的表面膜。
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