[发明专利]辉光放电分解装置

摘要

带有接地电极、基片、RF电极、射频电源、带有至少一个电元件的控制电路和匹配电路的辉光放电分解装置、基片都并行装在设置在各个RF电极上的接地电极上，各RF电极并行设置并彼此绝缘；匹配电路从射频电源接收射频能量；控制电路从匹配电路接收射频能量，并向RF电极提供射频能量；通过提供受到控制电路独立控制的射频功率，在基片上制作出薄膜，从而使等离子体在各电极上都受到控制。

主权项

1.通过辉光放电分解在基片上沉积薄膜的装置，其包括：一个射频电源9，一个匹配电路8，以及由两个接地电极31、32，两个射频电极11、12和至少含有一个电元件的控制电路所构成的单元，接地电极31、32与射频电极11、12相对设置，基片41、42被设置于接地电极31、32上并与所述的射频电极相对，所述的两个射频电极11与12相互平行，匹配电路8与射频电源9相联，控制电路从匹配电路8接受射频能量并通过其输出端将射频能量输送给射频电极。