[其他]形成铂电组温度计的方法无效
| 申请号： | 85106536 | 申请日： | 1985-08-30 |
| 公开（公告）号： | CN85106536A | 公开（公告）日： | 1987-03-18 |
| 发明（设计）人： | 罗伯特·C·伯哈拉;詹姆斯·A·鲁夫 | 申请（专利权）人： | 罗斯蒙德公司 |
| 主分类号： | G01K7/18 | 分类号： | G01K7/18;H01C7/06;C23C14/34;C23C16/06 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人： | 付康 |
| 地址： | 美国明尼苏达州5534*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 在一工艺中形成铂电阻温度计，该工艺包括在淀积在衬底上的惰性介质上确定供电阻温度计用的通路；将通路中的衬底表面暴露出，使惰性介质形成反图；然后将电阻材料同时淀积在通路中露出的衬底表面和保留在衬底上的惰性材料表面，此后，惰性材料被腐蚀掉，这样淀积在惰性材料上的电阻材料就松动，可清除，于是在形成电阻温度计的所需线路上留下电阻材料条。该电阻条污染少，杂质浓度低，因而可容易地获得所需电阻温度系数的温度计。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 铂电组 温度计 方法 | ||
【主权项】：
1、一个具有迴折铂电阻带状的铂电阻温度计，该铂电阻带在一衬底上形成一个图形，其中铂是在活性环境下淀积到衬底上的，步骤包括：将衬底预热至某一选定的高温；在衬底上溅射淀积铂至所需厚度；在溅射淀积铂的同时，将衬底温度控制在选定的高温。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于罗斯蒙德公司，未经罗斯蒙德公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/85106536/，转载请声明来源钻瓜专利网。
