[其他]极微流量气体取样阀门及其制造方法无效
申请号: | 85107238 | 申请日: | 1985-09-26 |
公开(公告)号: | CN85107238A | 公开(公告)日: | 1987-05-27 |
发明(设计)人: | 王欲知;刘建生 | 申请(专利权)人: | 成都电讯工程学院 |
主分类号: | G01N1/22 | 分类号: | G01N1/22;F16K7/12;C03C15/00;C03C19/00 |
代理公司: | 成都电讯工程学院专利代理室 | 代理人: | 李晓洪,武登祥 |
地址: | 四川省成*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明适合于各种含气装置或器件作气体微量抽样分析之用。阀门的关键部分是一具有孔径小达10微米以下的微漏孔的玻璃片。这个微漏孔是通过高速钻削、化学腐蚀和电击穿三道工序制作而成的。阀门的开闭由一碗状弹性隔膜带动一弹性圆块对微漏孔进行紧压封闭和开启。本发明具有抽样气体极微漏率稳定、开闭容易、不易堵塞、质量岐视小,受环境温度影响小等优点,并且具有标准漏孔所具有的特性。 | ||
搜索关键词: | 极微 流量 气体 取样 阀门 及其 制造 方法 | ||
【主权项】:
1、本发明是一种极微流量的气体取样阀门,该阀门由密封阀壳(15),导气管(9)、(10),微漏导气片(1),支承片(2)取样开关(4)(5),密闭阀盖(6)等构成,其特征在于:①微漏导气片是一带有特殊方法制作的孔径在1微米到20微米范围的微细小孔的平面玻璃片。②开闭该微漏孔的取样开关是一碗状弹性隔膜,其顶端粘有一平面弹性密封垫片,并由顶紧机构带动隔膜对微漏孔开闭取样。
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