[其他]宽带付立叶变换测微技术无效
| 申请号： | 85109412 | 申请日： | 1985-12-30 |
| 公开（公告）号： | CN85109412A | 公开（公告）日： | 1987-07-08 |
| 发明（设计）人： | 马华锦 | 申请（专利权）人： | 西北电讯工程学院 |
| 主分类号： | G01B9/00 | 分类号： | G01B9/00 |
| 代理公司： | 电子工业部专利服务中心 | 代理人： | 王品华 |
| 地址： | 西安市太*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及激光衍射测量细微物体和图形尺寸的方法。采用宽带付立叶变换镜头研制的激光测微仪可以测量2～200μm的微小尺寸。本发明根据付立叶镜头的设计要求，为使一般镜头用作副变镜头，提出使镜片按要求弯曲的办法，产生一定的球差来抵消衍射中的非线性偏差。用此方法可作出宽带付立叶变换镜头。用此镜头作成的专用激光测微仪，采用了标准光栅校准的方法，可以对2～200μm的物体进行绝对测量，并采用副瓣对管法可进行动态测量，在2～200μm之间的测量范围内能分辨出0.1％的直径变化。 | ||
| 搜索关键词： | 宽带 付立叶 变换 技术 | ||
【主权项】：
1、一种用激衍射法测量微小物体直径的装置，其特征在于具有宽带付立叶变换测微镜头和用来进行动态测量而在sin2c函数各级付瓣中心所设置的PIN光电二极管。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西北电讯工程学院，未经西北电讯工程学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/85109412/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：炼钢红尘矿渣硅酸盐红水泥的生产方法
- 下一篇：重晶石颜料的制造方法
