[其他]一种密封式单晶炉

摘要

一种密封式单晶炉，本实用新型属于单晶生长所用的装置。以往的六硼化镧等单晶生长装置，一般使用马弗炉、扩散炉或类似的炉子。炉体大，造价高，耗电耗气多，面坩埚容量却较小，因此生长得到的单晶较少，成本较高。本装置的主要特点是炉体小、坩埚大、耗电省，不消耗高纯保护气体，因而提高了单晶生长的数量，降低了成本，本装置亦可用于其它晶体生长及各种材料的热处理。

主权项

1、一种炉体内由坩埚[9]、加热器[8]、隔热罩[7]、惰性保护气体[17]、热电偶[15]、隔热垫[11]组成的密封式六硼化镧单晶炉。其特征是：具有金属炉体[10]，在炉体顶部和侧面有密封法兰[1、14]，密封圈[2、13]和紧固件[3、12]把炉体密封，在炉体两侧有两个金属管道，其中一个金属管道通安全阀[16]，另一个与气压表[4]相连接，并通过阀门[5]与机械泵相连，通过另一阀门[6]与惰性气体瓶相连。