[发明专利]形成非晶态多元金属合金覆层的方法

摘要

一种非晶形的多金属合金覆层组成方法的公开。更确切地说，这里述及的是一种化学蒸汽沉积方法，其中起始化合物在控制参数下在基质上引起分解，使覆层在基质上形成，即为大体上非晶形的多金属合金。更好的非晶形的合金成分也加以说明，就是按权利要求方法的标准合成。

主权项

1.一种在基底上沉积大体上为非晶态的多元金属合金覆层的方法，该方法包括以下步骤：(a)准备至少两种含金属的起始化合物，各含有所说的非晶态的多元金属覆层所需要的一种金属，这些起始化合物的分解温度要低于将要形成的非晶态多元金属覆层的结晶温度，(b)在封闭系统中把上述基底加热到至少为上述起始化合物的分解温度，(c)使上述起始化合物蒸发，(d)蒸发的起始化合物与基底在上述系统中接触，使上述大体上为非晶态的多元金属覆层在上述基底上形成；上述大体上为非晶态多元金属覆层由下式表示：MaM＇bRc其中，M为至少一种选自于Mo、W、Nb和Ta的元素，M′为至少一种选自于Fe、Ni、Co、Mn和Cr的元素，R为至少一种选自于P、B、N、As、S、Si和C的元素，a范围为大约0.15至大约0.85，b范围为大约0.15至大约0.85，c范围为0至大约0.25，限制条件为当M包括Cr时，那么总数(除Cr外的M＇元素的下标b与C的总和)至少为0.15