[其他]带源的氯化物、氢化物系统的多次连续生长装置及其方法

摘要

本发明属于气相化学淀积领域。为提高效率，在反应稳定进行的条件下，在反应管内实现取外延片和装衬底，从而可以多次连续生长，不但节省了每次生长之间的辅助阶段的时间，有利于薄层生长和同一批的重复性，同时也克服了传统方法外延开始和停止都在组分变化着的低摩尔数下进行的这些瞬态效应。

主权项

1、带源的氯化物、氢化物系统的多次连续生长装置，为一由细、中、粗三种规格组成的带有磨口的反应管，其上有一个(对氯化物系统)或两个(对氢化物系统)进气管，出气管、逆流气体进入的管，内有源、衬底托、纳污管。其特征为：带有凹槽(32)、下方为园形、上方平面上带有双棱(31)、靠两个密合与反应管结合的下方纳污管，由四条腿(41)、框隔(42)、抽板(44)及其尾部朝上面上的铁芯(45)、直角棱边(46)、“小爪”(47)组成的放在反应管后部的备片架，由直角棱边(21)、托板(22)及封在它朝下面上的铁芯(23)、小勾(24)、“小爪”(25)、拉杆(26)铁芯(27)、(28)组成的可在纳污管上移动的水平衬底托(20)；或者由直角棱边(21)、托板(22C)及封在它朝下面上的铁芯(23)、前勾(24E)、后勾(24F)、“小爪”(25)、斜靠板(22D)、拉杆(26)、铁芯(27)、(28)组成的可在纳污管上移动的立式生长衬底托(20B)。反应管上带有凹坑(14)、标尺(48)(29)，其外带有线圈(13)(17)。