[其他]电弧点火装置无效
| 申请号： | 86105020 | 申请日： | 1986-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN86105020A | 公开（公告）日： | 1987-03-11 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·A·赫瓦特;保罗·H·奈卡拉;加里·E·弗加桑 | 申请（专利权）人： | 珀金斯—埃尔默有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/36 | 分类号： | C23C14/36 |
| 代理公司： | 上海专利事务所 | 代理人： | 吴淑芳 |
| 地址： | 美国康涅狄格州0685*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明揭示了一个用于真空电弧等离子体发生系统的点火装置，包括一个长度为L的、其边缘与对阴极表面边缘并置间距为D的细长金属点火器元件，有桥接表面的绝缘元件被放置得使桥接表面在点火器元件与阴极表面边缘间连接。在桥接表面上沉积一层导电薄膜。在点火器元件和阳极间设置一个简单的电连接，使点火器元件为一辅助阴极。为了在阴极和阳极间施加直流电弧电压时使导电薄膜汽化并从而引发电弧，长度L要够大而间距D要够小。 | ||
| 搜索关键词： | 电弧 点火装置 | ||
【主权项】：
1、在含有一个阳极和一个阴极，并在一施加的电弧电压下起作用而在阳极和阴极的对阴极表面之间持续一电弧的真空等离子体发生装置里一用于引发电弧的点火装置，包括：一个长度为L的，其边缘与对阴极表面边缘并置间距为D的细长金属点火器元件；一个具有桥接表面的绝缘元件，被放置得使桥接表面在点火器元件和对阴极表面边缘间连接；在点火器元件和阳极间设置的一个简单的电连接；以及一层淀积在桥接表面的导电薄膜；为了使至少有一部分导电薄膜在施加电弧电压时汽化并从而引发电弧，长度L要够大而间距小要够小。
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