[其他]微孔筛制造方法的改进及由此生产的微孔筛无效

专利信息
申请号: 86105330 申请日: 1986-08-30
公开(公告)号: CN86105330A 公开(公告)日: 1987-03-04
发明(设计)人: 莫德·蔡·多伊奇;塔马·兰多;理查德·E·戈登 申请(专利权)人: 科学诊断公司
主分类号: B07B1/00 分类号: B07B1/00
代理公司: 中国专利代理有限公司 代理人: 陶增炜,章社杲
地址: 美国纽约州纽约*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 一种靠与刚性框架成为一体或靠其厚度增加到明显能够经受弯曲的程度而具有更高的抗机械变形的能力的普通细软的微孔筛。
搜索关键词: 微孔 制造 方法 改进 由此 生产
【主权项】:
1、在制做微孔筛的方法中,包括:(a)一层光致抗蚀剂施加在一个导电基板上;(b)使抗光蚀剂的预选区域定影,产生以定影的光致抗蚀剂的间断区域格栅状形式的图形表面,(c)使去除剩余的光致抗蚀剂,暴露导电基板的连续区域。(d)电镀该基板(e)去除基板和定影的光致抗蚀剂,产生成品的微孔筛;改进包括使成品的微孔筛具有更大的刚度和更高的抗机械变形的能力,特征在于:在步骤(a)中提供一层至少6微米高的光致抗蚀剂。
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