[发明专利]将光掩膜敷到印刷线路板上的装置无效
| 申请号： | 86107270.7 | 申请日： | 1986-10-22 |
| 公开（公告）号： | CN1003677B | 公开（公告）日： | 1989-03-22 |
| 发明（设计）人： | 约翰·V·克罗宁 | 申请（专利权）人： | M和T化学股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人： | 辛哲生,蔡明军 |
| 地址： | 美国新泽西*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于将光掩膜敷在基片上的装置，用辊子把光掩膜敷在基片上，用真空限制装置在把光掩膜敷在基片上的过程中限制光掩膜，使其保持张力。 | ||
| 搜索关键词： | 将光掩膜敷到 印刷 线路板 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于在光敏接收元件上敷柔性光掩膜的装置，包括：一个外壳；用于支承外壳中的光敏接收元件的支承装置；用于将柔性光掩膜一端固定在所述外壳上，与所述光敏接收元件对准的固定装置；上述用于在光敏接收元件上敷柔性光掩膜的敷设装置的特征在于，它还包括：用于将柔性光掩膜敷在光敏接收元件上时靠张力保持所述柔性光掩膜的保持装置，该装置与所述敷设装置相离，并且在所述敷设装置将柔性光掩膜敷在光敏接收元件上时位于所述敷设装置附近并在所述敷设装置和所述光掩膜的自由端之间。
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