[发明专利]具有在有微不平整内表面的球形凹痕的基底上的光接收层的光接收元件

摘要

一种光接收元件包括基底和多层结构物的光接收层，该层由含硅原子和至少锗或锡原子之一的非晶材料形成的内层和由含硅原子且无锗无锡原子的非晶材料形成的外层构成。基底表面不平整，有许多球状凹痕，各凹痕内表面具有微小不平整性，该元件克服了含有非晶硅复合的常规光接收元件存在的所有问题，尤其有效防止了因干涉现象在图象中产生的干涉条纹，即使在利用相干激光束作为光源可能产生干涉时也能形成质量极好的可见图象。

主权项

1.一个光接收元件。包括一个基底和一个沉积在其上的光接收层。其特征在于：所述基底有一个由多个球形凹痕形成的不平状面，所述凹痕提供有一具有微小不平整性的内表面；及所述光接收层是一个具有依次从所述基底的一侧沉积的一个内层和一个外层的多层结构。所述内层由一个包含硅原子，至少锗原子和/或锡原子，和至少氢原子和/或卤原子的非晶材料组成的。而所述外层是由一个包含作为主构分的硅原子和包含至少氢原子和/或卤原子及既不包含锗原子又不包含锡原子的非晶材料组成的。