[其他]溅射涂层设备用的靶中的阴极/接地屏蔽配置无效
| 申请号： | 86107820 | 申请日： | 1986-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN86107820A | 公开（公告）日： | 1987-11-11 |
| 发明（设计）人： | 阿尔伯特·丹尼尔·格拉瑟 | 申请（专利权）人： | 西屋电气公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人： | 王申,王宪模 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种溅射涂层设备用的靶，它包括一个在其上面设置了带溅射靶物质(58)的表面的阴极(56)和一个由间隙(96)与阴极隔开的接地屏蔽(84)。间隙(96)填满了一种即使在高湿度下也能防止间隙中产生电弧的电绝缘材料(102)。安装在阴极表面的周边部分(66)上的条板(90)形成一个连续的周围凸缘(94)，它悬在间隙(96)入口和接地屏蔽的毗邻边缘(86)之上，从而防止溅射靶物质的松散屑片桥接间隙而使阴极与接地屏蔽短路。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 涂层 备用 中的 阴极 接地 屏蔽 配置 | ||
【主权项】：
1、一种溅射涂层设备用的靶，它包括一个阴极和一个接地屏蔽，阴极有一个在其上面配置了溅射靶物质的外表面，接地屏蔽与阴极有联系，它对阴极的空间位置关系是使两者之间形成一个将阴极和接地屏蔽互相隔开的间隙，这种靶的特征在于，该间隙(96)完全填满了电绝缘材料(102)。
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