[其他]聚丁二烯系正型抗蚀剂及合成方法无效
| 申请号： | 86108059 | 申请日： | 1986-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN86108059A | 公开（公告）日： | 1988-06-22 |
| 发明（设计）人： | 余尚先 | 申请（专利权）人： | 北京师范大学 |
| 主分类号： | C08F36/06 | 分类号： | C08F36/06;G03C1/37 |
| 代理公司： | 北京师范大学专利事务所 | 代理人： | 马思渝 |
| 地址： | 北京市新街口*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明属于聚丁二烯系感光性高分子合成法并由此产物制备正型抗蚀剂。由于该产物的结构既具有橡胶系高分子主链又在侧链导入多个重氮萘醌磺酰基的同时使其具有足够量的酚羟基或羧基，在与酚醛树脂等混合作抗蚀剂使用时克服了由低分子酚酯化合物或一般感光性高分子组成的正型抗蚀剂成膜性能差、低温性能和抗酸碱性能差的缺点，同时保持正型抗蚀剂解像力高、水系显影和耐等离子刻蚀的优点。可广泛用于集成电路抗蚀剂和PS版用感光剂。 | ||
| 搜索关键词： | 丁二烯 系正型抗蚀剂 合成 方法 | ||
【主权项】：
1、聚丁二烯系正型感光性高分子合成方法，该系化合物的结构[Ⅲ]为：n+m=15-45n/m=2-4，其特征在于：1.1用重均分子量1000～3000，环氧值0.3-0.6的1，2-聚丁二烯环氧与没食子酸在催化剂N，N--二甲基苄胺作用下，以1，4-二氧六环为溶剂，反应温度控制在100～130℃，而得到如下结构[I]的聚丁二烯没食子酸酯：式中n、m取值同[Ⅲ]1.2用酸酐类化合物将聚丁二烯没食子酸酯化，得到如下结构[Ⅱ]的复合酯化物：式中n、m取值同[Ⅲ]，1.3用上面两步所得产物[I]、[Ⅱ]分别与不同比率的重氮萘醌磺酰氯在碱性脱HCl剂作用下得到聚丁二烯系正型感光性高分子[Ⅲ]。
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