[发明专利]含有球形凹痕基底表面的无定型硅多层光敏元件无效
| 申请号： | 86108488.8 | 申请日： | 1986-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN1012853B | 公开（公告）日： | 1991-06-12 |
| 发明（设计）人： | 本田充;小池淳;小川恭介;村井启一 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03G5/082 | 分类号： | G03G5/082;G03G5/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人： | 刘建国 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种光敏元件包括基底，光敏层和表面层。光敏层由含硅原子和至少还含锗原子或锡原子的无定形材料形成。表面层由含硅原子和至少还含从氧、碳和氮原子中选出的一种原子的无定形材料形成。基底具有凸凹不平表面(它由球形凹痕组成)并具有在光敏层和表面层之间的界面上匹配的光学禁带宽度。克服了常规光接收元件中的所有问题。有效防止图象中出现干涉条纹，即使使用相干激光束作光源，也能得到优质图象。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 球形 凹痕 基底 表面 定型 多层 光敏 元件 | ||
【主权项】：
1.一种含有球形凹痕基底表面的无定形硅多层光敏元件包括基底和基底上的光接收层，所述光接收层具有光敏层和表面层，其特征在于所述光敏层是由含有硅原子和至少包含有或者锗原子或者锡原子其中一种原子的无定形材料所构成，所述表面层是由包含有硅原子和至少还包含有从氧原子，碳原子和氮原子中挑选出的一种原子的无定形材料所组成，所述基底具有由许多球形凹痕构成的凸凹不平的表面，球形凹痕的周边相接，其曲率半径R和宽度D满足下式：0.35≤D/R，D≤500μm，光带隙在所说的光敏层和所说的表面层之间的界面上完全匹配。
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