[其他]光敏组成物及水溶液中可显影的热稳定负像无效
| 申请号： | 87100185 | 申请日： | 1987-01-13 |
| 公开（公告）号： | CN87100185A | 公开（公告）日： | 1987-09-23 |
| 发明（设计）人： | 威尼·埃德蒙德·费利 | 申请（专利权）人： | 罗姆和哈斯公司 |
| 主分类号： | G03C1/72 | 分类号： | G03C1/72;G03C5/24 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人： | 全菁,吴大建 |
| 地址： | 美国宾夕*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提出了经挑选的受远紫外线或X射线激活并能在光敏组成物中以很低浓度使用的光敏化合物，它们可用在表面产生出水中可显影的热稳定负像。这些挑选出的光敏化合物，是卤代有机化合物，包括1，1一双[对—氯苯基]—2，2，2—三氯乙烷，这些化合物在受到远紫外线或其它短波长射线的作用时，产生出无机氢卤酸。它们可以在浓度低于光敏组成物中总固体含量5％(重量)时使用，通过远紫外线照射产生出可在水溶液中显影的负像。 | ||
| 搜索关键词： | 光敏 组成 水溶液 显影 稳定 | ||
【主权项】：
1、一种负型抗光蚀剂组成物，其特征在于它含有酸硬化树脂体系和选自于一组卤代有机化合物的足够量的光致酸发生物，该卤代有机化合物选择性地吸收约210至约299毫微米范围内的光化射线，它可与酸硬化树脂体系相容，在水基溶液中可显影，并可以在远紫外线照射时生成一种氢卤酸，在温度升高时交联酸硬化树脂，形成热稳定的负象。
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