[发明专利]一种变间距刻划的方法及装置无效
| 申请号： | 87102780.1 | 申请日： | 1987-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN1008404B | 公开（公告）日： | 1990-06-13 |
| 发明（设计）人： | 张庆英;花清印 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械研究所 |
| 主分类号： | G02B27/32 | 分类号： | G02B27/32;B25H7/04 |
| 代理公司： | 中国科学院长春专利事务所 | 代理人： | 刘树清 |
| 地址： | 吉林省长*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 一种变间距刻划的方法及装置，属于光电控制机械刻划领域中的变间距刻划，尤其是变间距光栅的机械刻划。用相干光源、分束器件和平面变间距样板组成干涉仪系统，控制工作台做变间距或变速运动。本发明简单易行，准确可靠、对最小变化量无限制、且可实现多种间距变化形式。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 间距 刻划 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种变间距刻划的方法，采用置于机械工作台(8)上的平面变间距样板(11)、相干光源(12)和分束器件(14)组成干涉仪，其特征在于此干涉仪产生的明暗相间的干涉条纹被光电转换器(16)接收，当机械工作台(8)运动时干涉条纹明暗就发生变化，通过电子学记数系统记录条纹明暗变化的信号数做为控制机械工作台(8)运动的分度基准信号，当记数系统依次记录相等的干涉条纹数并通过电子学及机械系统控制刻刀(17)以等间距刻划方法刻线时则机械工作台(8)及置于机械工作台(8)上的待刻毛坯件(10)将依次同步的移动了不同的距离，从而获得了不等间距的刻线，实现了变间距刻划。
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