[发明专利]适用于高速连续成像系统的光接收元件

摘要

电子摄影用的改进的光接收元件至少具有由A-Si(H，X)系列材料构成的光电导层和由A-Si(C，O，N)(H，X)构成的表面层。其特征在于，在表面层中所含原子(C，O，N)的浓度，从表面层与光电导层之间的界面位置起向着表面层的自由表面逐渐增大，同时在该界面处留下与表面层的折射系数和光电导层的折射系数之间的折射系数差(Δn)[Δn＜0.62]相对应的部分，而这在成像过程中可以忽略不计。

主权项

1.一种适用于高速图象制作系统的光接收元件，它包括至少一个基底和一层光接收层，上述光接收层自基底一边包括：一层厚度为3到100微米的光导层，其材料选自：(a)含有作为主要成分的硅原子，以及选自氢原子和卤素原子中至少一种原子的非晶材料；或(b)含有作为主要成分的硅原子、选自锗原子和锡原子中至少一种原子、以及选自氢原子和卤素原子中至少一种原子的非晶材料，和一层厚度为0.003到30微米、有着一个自由表面和非晶材料形成的表面层，此非晶材料含有硅原子和占总原子量0.5％到95％、选自碳原子、氧原子、氮原子(C，O，N)组中至少一种，其特征在于，上述(C，O，N)原子的浓度足以使得在光导层和表面层之间界面处的表面层部分呈现出如此的折射率，使得在界面处光导层部分的折射率和表面层部分的折射率之间的差(Δn)不大于0.62，而在上述界面处的表面层部分的光带隙和光导层部分的光带隙之间的差值ΔEgopt不小于0.01，其中，在界面处表面层一边，(C，N，O)原子呈现低浓度，而在自由表面一边，(C，N，O)原子呈现高浓度，因而，上述Δn和ΔEgopt的值倾向于阻止界面条纹和重像的形成而不必降低上述光接收元件的光谱灵敏度。