[其他]涂镀层厚度动态测量方法、装置及其用途无效
| 申请号： | 87103367 | 申请日： | 1987-05-13 |
| 公开（公告）号： | CN87103367A | 公开（公告）日： | 1988-11-30 |
| 发明（设计）人： | 邱安生 | 申请（专利权）人： | 本溪市无线电九厂 |
| 主分类号： | G01B7/10 | 分类号： | G01B7/10;C25D21/12 |
| 代理公司： | 电子工业部专利服务中心 | 代理人： | 崔雪花,邱应凤 |
| 地址： | 辽宁本溪市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本发明涉及用磁敏感原理测量各种涂、镀层厚度，主要由磁性传感件、激磁电源和测量放大器组成，可以在涂镀过程中测量出单层、多层、磁性、非磁性涂镀层厚度。本发明利用磁性材料的表面应力效应，即初始磁导率随着涂镀层增厚、表面收缩应力增加而出现有规律的下降。该过程是一个弹性可逆过程，随着涂镀层厚度减薄、应力减小、初始磁导率将恢复原值。本发明同时可测量出涂镀过程中基体所受的应力及其变化速度，监测涂镀层腐蚀过程。 | ||
| 搜索关键词： | 镀层 厚度 动态 测量方法 装置 及其 用途 | ||
【主权项】：
1、本发明涉及用磁敏感原理动态测量涂镀层厚度，是一种测量在电镀、化学镀过程中镀层厚度及变化速度的方法，其特征在于：应用磁性材料初始磁导率随着镀层增厚、表面应力增加而出现有规律的下降，反映到磁性传感件[6]的输出电压随之有规律的下降，同时这一涂镀过程产生的形变是一个弹性可逆过程；利用上述特性，可测量单层、多层、磁性、非磁性镀层厚度及沉积速度。
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