[其他]光阀中聚焦偏转用的分开式偏移环

摘要

条纹暗场型光阀，有含电子枪的真空室；聚焦偏转组件和涂有光调制液的转盘，枪射束对转盘扫描。转盘上有透明射击电极。偏转组件和转盘间是至少有两个部分的偏移环组件。偏移环一部分同偏转组件结合产生一静电透镜，以校正加到偏转组件的偏转场畸变。其他偏移环部分的电压不同于第一偏移环部分，以产生控制电子束聚焦的静电透镜。第二偏移环和转盘作用产生第三静电透镜，通过将偏转电场聚焦轨迹整形成同控制层平面极其相似来将射束尺寸控制到一基本均匀的值。

主权项

1、一种改进的静电电子光学系统，是为使在具有矩形截面的射束整形孔径处形成的电子束成象，并在整个扫描区域保持一定的射束放大率和聚焦的同时使该电子束扫描被扫描的光栅区域用的，它包括：一个具有两对平行极板的矩形截面的偏转电极组件；至少两个在上述偏转电极组件的轴线上相隔一定距离的园柱形电极；以及一个供电子束射击的电极；上述的至少两个园柱形电极是在不同的电压下工作，以便产生畸变校正透镜并为电子光学系统的整个放大和聚焦功能提供单独控制。