[其他]旋转干燥设备无效
| 申请号： | 87103644 | 申请日： | 1987-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN87103644A | 公开（公告）日： | 1987-12-02 |
| 发明（设计）人： | 杰拉尔德·马丁·卡尔 | 申请（专利权）人： | 伊斯曼柯达公司 |
| 主分类号： | F26B5/08 | 分类号： | F26B5/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理有限公司 | 代理人： | 肖春京,林长安 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一用于干燥半导体圆片的旋转干燥设备。其中该圆片只是在其边缘部分被一多个径向延伸臂所接触，且其中提供以用以防止在旋转干燥步骤期间由于该臂的旋转的扇状影响而产生湍流空气流及由于旋转干燥设备本身的操作所搅动的杂质重新污染已清洗干净及干燥的圆片表面。 | ||
| 搜索关键词： | 旋转 干燥设备 | ||
【主权项】：
1、用于干燥片状元件的旋转干燥设备，所述设备包括一轴被安排成用以作旋转运动，并在其一端部上有一驱动马达，及在其另一端部上有一旋转的顶部组件，其特征在于：-所述顶部组件包括一顶部元件同轴地安排在所述轴的另一端部上并具有一多个从该轴上向外延伸的旋臂；-一多个可动臂与各个所述旋臂枢轴连接并具有圆片一接合部分；-用以偏移所述可动臂的圆片一接合部分至圆片一接合位置的偏移装置；-用以移动可动臂以反抗所述偏移装置从所述圆片一接合位置移动可动臂的所述圆片一接合部分的装置，及-紧密地围绕所述径向延伸臂的抑制装置包括一盖罩元件用以大体上消除由于所述径向延伸臂的旋转而在所述片状元件的周围产生的气流。
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