[其他]干式真空泵无效

专利信息
申请号: 87103739 申请日: 1987-05-29
公开(公告)号: CN87103739A 公开(公告)日: 1988-12-14
发明(设计)人: 胡焕林 申请(专利权)人: 合肥工业大学;南京真空泵厂
主分类号: F04C25/02 分类号: F04C25/02;F04C18/344;F04C29/02
代理公司: 国家机械工业委员会机械专利事务所 代理人: 孙文彩,曹敏
地址: 安徽省合*** 国省代码: 安徽;34
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摘要: 发明公开了一种能够使被抽真空系统无油污染的干式真空泵。它的极限压力可达1×10-2~1×10-3托,抽速为4升/秒,油蒸气返流为旋片式真空泵的5%~10%,即比旋片式真空泵降低了95%左右。由于被抽真空系统无油污染,所以特别适合用于核真空技术、电子技术、表面和薄膜技术等,尤其对直接涉及人身健康的食品、医药包装等有着特殊的意义。
搜索关键词: 真空泵
【主权项】:
1、一种干式真空泵,由泵体、泵轴和吸气系统等组成。其特征在于,吸气系统采用无油干级(5)、吸附级(22)和油封级(12)三级串联的整体式吸气结构。
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