[其他]盘形涡轮分子泵无效
| 申请号： | 87103982 | 申请日： | 1987-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN87103982A | 公开（公告）日： | 1988-12-21 |
| 发明（设计）人： | 朱岳;王孝珍;竺长新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院北京真空物理实验室 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04 |
| 代理公司： | 中国科学院专利事务所 | 代理人： | 关玲,方国成 |
| 地址： | 北京市海*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种改进的盘形分子泵。该泵可由一级或多级串联构成。每一级由一片带有涡轮叶齿的旋转圆盘和一片在盘面上开有圆弧线形抽气沟槽或直线形抽气沟槽的定圆盘组成。定圆盘上抽气沟槽也可以是其他线形，如对数线形。多级泵定圆盘的两侧面都有抽气沟槽。本泵具有制造工艺简单，抽气性能好等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 | ||
【主权项】：
1、一种泵芯结构具有高真空端是涡轮部分，低真空端是盘形部分按串联方式构成的盘形涡轮复合分子泵，其特征在于泵芯的涡轮部分和盘形部分之间串接有盘形涡轮结构作为过渡部分结构。
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