[其他]耐热感光耐蚀膜无效
申请号: | 87104996 | 申请日: | 1987-07-22 |
公开(公告)号: | CN1006074B | 公开(公告)日: | 1989-12-13 |
发明(设计)人: | 爱;英夫;池田;章彦;横田;完一 | 申请(专利权)人: | 旭化成工业株式会社 |
主分类号: | 分类号: | ||
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利代理部 | 代理人: | 樊眠;穆德俊 |
地址: | 日本 *** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: |
一种耐热的感光耐蚀膜,它包括以下主要部分:(a)一种由下式所代表的重复单元所组成的聚合物,式中X为四价C |
||
搜索关键词: | 耐热 感光 耐蚀膜 | ||
【主权项】:
1、一种耐热的感光耐蚀膜,它包括以下主要组分:(a)一种由下式所代表的重复单元所组成的聚合物,式中X为四价C6-30碳环基或杂环基;Y为二价C6-30碳环基或杂环基;Z为A为-COOR或,其中R和R′各为含一活性C=C键的化合物;A在Z的邻住或迫位。该聚合物在热处理时能转变为热分解温度至少为350℃、玻璃化转变温度至多达350℃的聚合物;(b)一种含活性C=C键的化合物;和(c)一种光聚合引发剂。
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于旭化成工业株式会社,未经旭化成工业株式会社许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/87104996/,转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类