[其他]施利尔雷恩暗场型光阀投影器的偏转系统

摘要

一种经改进的用于Schlieren暗场投影器光阀的电子偏转系统。该偏转系统取消了原来投影器所用的三组偏转电极中的一组(D箱25)。这是通过改变加在偏转电极上的直流电压和交流电压实现的。在第一控制箱电极组上加有四极直流电压；在第二控制箱电极组上加有第二个四极直流电压，与第一组的极性相反。这样使电子束的竖直角和水平角受到不同改变，使电子束竖直和水平方向的轨迹受到不同改变，从而补偿了由球面象差，偏转聚焦象差，静场四极透镜产生的复合影响。

主权项

1、一种改进的静电电光系统，用于使在电子束整型孔阑形成的电子束物成像并在扫描光栅区内使所述电子束扫过光栅区，同时在整个扫描区上使电子束保持放大和聚焦，所述系统由下述各部分组成：偏转电极组件，包括第一组四个控制电极，筒状电极和第二组四个控制电极，上述筒状电极沿上述偏转电极组件的轴向，位于上述第一与第二组四电极之间，每个四电极组中有一对竖直偏转极板和一对水平偏转极板；用于向第一组竖直偏转极板上加增量直流电压，和向第一组水平偏转极板上加大小相等、极性与竖直极板上相反的增量直流电压的装置；用于向第二组竖直偏转极板上加与第一组极性相反的增量直流电压，和向第二组水平偏转极板上加大小相等，极性与竖直极板上相反的直流电压的装置；多元漂移环组件，它的轴与偏转电极组件的轴同行。电子束靶电极，其轴与电极组件的轴分离。