[发明专利]施利尔雷恩暗场型光阀投影器的偏转系统

摘要

一种经改进的用于Schlieren暗场投影器光阀的电子偏转系统。该偏转系统取消了原来投影器所用的三组偏转电极中的一组(D箱25)。这是通过改变加在偏转电极上的直流电压和交流电压实现的。在第一控制箱电极组上加有四极直流电压；在第二控制箱电极组上加有第二个四极直流电压，与第一组的极性相反。这样使电子束的竖直角和水平角受到不同改变，使电子束竖直和水平方向的轨迹受到不同改变，从而补偿了由球面象差，偏转聚焦象差，静场四极透镜产生的复合影响；静场四极透镜是由偏转系统的圆漂移环组件与方箱电极结构相互作用而产生的。

主权项

1.一种改进的施利尔雷恩暗场型光阀投影器的偏转系统，用于使在电子束整型孔阑形成的电子束物成象并使所述电子束扫过扫描光栅区，同时在整个扫描区保持电子束放大和聚焦，所述系统包括：具有第一组四个控制电极和第二组四个控制电极的偏转电极组件，每个四电极组有一对竖直偏转极板和一对水平偏转极板；与所述偏转电极组件轴向对准的多元漂移环组件；与所述电极组件轴向分离的电子束靶电极；其特征在于所述系统还包括：筒状电极，它沿所述偏转电极组件的轴向，位于所述第一和第二组电极之间；在第一组坚直偏转极板上加增量直流电压，而在第一组水平偏转极板上加大小相等、极性与竖直极板上相反的增量直流电压；在第二组竖直偏转极板上加与第一组竖直偏转极板极性相反的增量直流电压，而在第二组水平偏转极板上加大小相等，极性与第二组竖直偏转极板上相反的增量直流电压。