[发明专利]用于光阀的层流电子枪

摘要

公开一种用于舒利莱恩暗场型光阀的层流电子枪。它采用三个具有严格的轴间距离与束直径比的加速电极，可单独调节和/或调制成像孔的束流密度，减小第二和第三加速电极上所加电压的精密程度。第一加速电极很靠近阴极，形成电压等于或约等于该电极电压的实际阴极，减小热束散角。小角束流的主要控制方法是调节最后孔上的束流密度。正、负电子透镜使层流状态保持到最后一个孔，保证电子束有小束散角。

主权项

1.一种舒利莱恩暗场型光阀用的层流电子枪，其特征在于包括：工作在大约2000°K温度，产生具有大约1.2安培/平方厘米束流密度的电子束的阴极；有孔的第一电极，它靠近所述阴极并与该阴极同轴，其工作电压为略高于所述阴极的正电压，所述阴极和所述第一有孔电极一起构成电位等于或接近等于所述第一有孔电极电位的实际上的阴极，以减小所述电子束的热发散；有孔的第二电极，它与所述第一有孔电极同轴并分开一段距离，其工作电压为比所述阴极电压高许多的正电压，所述第二有孔电极的孔面积小于所述第一电极的孔面孔；有孔的第三电极，它与所述有孔第二电极同轴并分开一段距离，其工作电压高于第二有孔电极，所述第三电极的孔面积小于所述第一和第二电极的孔面积，所述第一、第二和第三电极的每一个阻截住一部分所述电子束，以获得层流。