[发明专利]薄固体膜片组成的层状结构的局部混合

摘要

一种多层半导体结构，由两个或多个不同材料制成的独立层构成，可以局部加以混合，以改变其组成，从而使原材料之间的区别消失，至少是部消失。这种混合方法采用脉冲或快速扫描激光或电子束进行照射，通常是在室温和常压下以不致在体质上损坏层状结构的能级进行。采用激光或电子束的多脉冲时可以达到彻底混合的效果。

主权项

1.一种局部混合多层半导体结构的方法，所述结构至少具有两个结构层，且包括交替的量子阱层和阻挡层，其特征于，该方法包括下列步骤：(甲)提供一种多层半导体结构，各层的厚度在大约5至500埃的范围内，且所述结构至少有一个表面层是敞露着的；(乙)用一种适宜提供足以使诸交替层之间混合的能量通量的能源，照射所述多层半导体结构敞露着的表面层的局部区域，其中所说的能源选自脉中激光束，快速扫描激光束，脉冲电子束，快速扫描电子束以及它们的组合能源；(丙)回收局部混合过的半导体产品结构，所述结构的特征是具有在光学和/或电子性能上与原半导体结构不同的局部横向和/或纵向区域。