[其他]徽波增强式化学汽相淀积法及设备

摘要

本说明书叙述了一种新型的化学汽相淀积法。这里化学汽相反应的主要的激发动力不是电子回旋共振(这时的电子作为独立粒子能够运动而不相互作用)而是混合回旋共振。在这种新提出的共振中，共振空间较大，因而用此新方法可将金刚石之类的高熔点物质淀积成薄膜状。

主权项

1、一种微波增强式化学汽相淀积设备，其特征在于，该设备包括：-反应室；-供气装置，用以将反应气体输入所述反应室中；-微波发生器，与所述反应室连通，用以将微波发射入界定在所述反应室中的一共振区间内；-磁铁，用以在所述共振区间内感应出磁场；和夹持装置，用以将待涂敷的物体夹持在所述共振区间的一个区域中，所述微波的电场的近似最大值就在所述区域中。