[其他]一种用于盘形分子泵的抽气圆盘无效

专利信息
申请号: 87208695 申请日: 1987-06-03
公开(公告)号: CN87208695U 公开(公告)日: 1988-09-14
发明(设计)人: 王孝珍;朱岳;竺长新 申请(专利权)人: 中国科学院北京真空物理实验室
主分类号: F04B37/14 分类号: F04B37/14
代理公司: 中国科学院专利事务所 代理人: 李红
地址: 北京海淀*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种盘形分子泵中圆盘上抽气沟槽的改进,该抽气圆盘的一侧或两侧盘面上开有若干个呈放射状的沿圆周均匀分布的圆弧线形抽气沟槽,即抽气沟槽槽壁的线形为圆弧线形。弧长S由公式S=Ryθ来确定。每条弧线对应的圆心位于半径为Rx的圆周上。当Rx,Ry,取成无穷大,θ为π时,圆弧线形槽便成为直线形槽。
搜索关键词: 一种 用于 分子 圆盘
【主权项】:
1、本实用新型提出了一种可用于盘形分子泵的抽气圆盘,其特征在于抽气圆盘的一侧或两侧面上开有沿圆周均匀分布呈放射状的圆弧线形抽气沟槽或直线形抽气沟槽,即抽气沟槽槽壁的线形为圆弧线形或直线形。
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