[发明专利]阴极电弧源离子渗金属技术及设备

摘要

本发明是一种利用低气压弧光等离子体对金属工件渗入特定元素，以优化工件表面性能的技术和设备。它采用阴极电弧蒸发器作为离子渗金属时的蒸发源、离化源和加热源，产生高密度的金属离子流，同时对工件施加高负偏压，以吸引金属离子流加速到达工件，将工件加热至高温，离子渗入其表面。如可获得钨、钼、镍、铬、钛、铝、锆、钽、铌等金属渗层以及它们与碳、氮、氧的化合物渗镀层，提高渗金属效率和质量。

主权项

1.在真空高温状态下对工件(10)进行等离子渗金属的技术，其特征在于：采用阴极电弧蒸发器(14)作离子渗金属时的蒸发源，离化源和加热源，利用低气压弧光放电产生高密度金属离子流，在工作时阴极电弧蒸发器(14)处于水冷却状态，它产生低气压场致发射型弧光放电，电压范围是16～30V，放电电流范围是50～200A，同时对工件(10)提高负偏压，使其工作负偏压范围在500～2000V内，工作温度范围800～1400℃，提高金属离子到达工件(10)的能量，真空室的工作气压范围是0.00133322-13.3322帕斯卡，以此对被处理工件(10)表面形成渗层。