[其他]铝钛薄膜电阻温度传感器及制备方法无效
| 申请号： | 88102279 | 申请日： | 1988-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN88102279A | 公开（公告）日： | 1988-11-30 |
| 发明（设计）人： | 茅有福 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | H01C7/02 | 分类号： | H01C7/02;G01K7/16 |
| 代理公司： | 华东师范大学专利事务所 | 代理人： | 俞允超 |
| 地址： | 上海市普*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 铝、钛双层金属薄膜电阻温度传感器属电子固态传感器技术领域。为使传感器小型化、工作温度范围宽和灵敏度高，采用了钛、铝双层薄膜结构，微细图案设计和加工技术。温度传感器封装在小型金属管壳里，电阻值为600-130Ω，电阻正温度系数约4200×10-5/℃，能在正200℃～—200℃的温度范围内使用，最大非线性度小于0.5％。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 电阻 温度传感器 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、铝钛薄膜电阻温度传感器由金属管座1、芯片2、绝缘氧化硅衬底3、钛膜4、铝膜5、硅铝丝6、引出线7和管帽构成，其特征在于采用在绝缘氧化硅衬底3上淀积有蚀刻成弯曲条状图案的钛膜4、铝膜5双层薄膜结构、铝钛薄膜的电阻值为600～1300Ω，电阻正温度系数约为4200×10-6/℃，在正200℃～负200℃的温度范围内最大非线性度小于0.5%。
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