[发明专利]六点接触式平面度高精度测量方法及装置

摘要

六点接触式平面度高精度测量方法及其装置，采用第一次测量时所确定的平面作为全部测量的参考基准面。故不受被测件位置，运动状况的变化及其他因素的影响。测量精度高，且可连续自动测量。数据可由微机采集后实时处理，适宜于现场测量大型或超大型工件的平面度。

主权项

1.一种平面度测量方法，其特征是测头布置成两排，每排三个测头，其中第一排连续布置两个固定测头，第二排中间位置布置一个固定测头，其他位置分别市置三个动测头，测头之间的距离为等距，测量时将被测平面按需要测量的点距分成N行，M列，且M为偶数，测量前将动测头的读数调为“零”，第一次测量从第一行第一列的交点开始，读出三个动测头的读数，然后将测量装置向右移动一个测量点距，读出动测头新的读数，如此依次测至被测面的边缘，然后以第二排的固定测头为圆心，将测量装置旋转90°，即可读出动测头的新的读数，然后再移动测量装置，如上法依次读出动测头的读数，直至测量装置测完整个被测面，然后将所测的各点数据按通式求出其归化值，再以此计算出平面度大小或直线度大小。