[发明专利]平面度误差分离法及实时测量仪

摘要

一种平面度误差分离法及实时测量仪，属于机械量形位误差测量领域。本发明为高精度大平面平面度测量提供一种有效的、可行的新方法。这种方法用五个传感器按特殊分布，可以有效的分离出工作台运动平面的误差及支承测头导轨形位误差及弯曲变形误差，所测数据直接转入计算机用数据处理方法能迅速得到工件的平面度值，且能把工件的表面形状给出，从而大大提高了测量精度，同时实现了自动实时测量。

主权项

1.一种平面度误差分离测量方法，采用五个测头同时测量，其特征在于，所说的五个测头按两个方向排列，同一方向相邻两个测头之间距离相等并且等于该方向上测量间距，以保证各测头的测量点重合，所说的测头测得数据经过A/D转换器输入微处理机，按予先编制的消除误差程序及平面度计算程序进行处理后实时显示出结果，测量步骤如下：(1)使各测头与被测元件表面接触，微调各测头使读数为零；(2)启动微处理机，并使所说的被测工件按测头排列的一个方向运动；(3)使光电元件发出一个脉冲，使计算机按测量间距采样；(4)所说工件运动一个周期后，所说光电工件再发出一个脉冲，使计算机停止采样；(5)使所说各测头按排列的另一方向移动一个间距，再按所说步骤3、4采集第二组数据，直到所说工件整个表面采样完成。